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儀器設(shè)備采購(gòu)方案咨詢 @惠州華高儀器

1. 行業(yè)背景與設(shè)備定位

電子制造行業(yè)中，電子元件體積不斷縮小，多層實(shí)裝基板密度逐步提高，內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷的觀察需求持續(xù)增加。日本島津推出的 Xslicer SMX-6010 豎直照射型 X 射線檢查設(shè)備，適配這類檢測(cè)需求，成為電子制造領(lǐng)域常用的檢查設(shè)備之一。

2. 核心配置與成像能力

核心部件：配備島津自制微焦點(diǎn) X 射線發(fā)生器（管電壓 160kV、1μm 分辨率開放管，JIMA Chart 測(cè)試）與 300 萬(wàn)像素平板探測(cè)器，可呈現(xiàn)高清晰度、寬動(dòng)態(tài)范圍圖像，能觀察細(xì)微內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷。

模式切換：可簡(jiǎn)單快速切換透視 / CT 模式，適配不同觀察需求，覆蓋電子元件到多層實(shí)裝基板的檢查場(chǎng)景。

3. CT 拍攝模式與觀察事例

傾斜 CT：拍攝大型實(shí)裝板等板狀樣品時(shí)，樣品置于 XY 載物臺(tái)，可移近 X 射線發(fā)生裝置，實(shí)現(xiàn)高倍放大拍攝；相比直線 CT，不受樣品寬度影響，適合基板類樣品的高倍放大拍攝。

直線 CT：拍攝大型基板等時(shí)，若為高放大倍率將樣品靠近 X 射線發(fā)生裝置，易出現(xiàn)樣品與 X 射線互相干擾，無法進(jìn)行高倍放大拍攝。

4. 系統(tǒng)構(gòu)成與安全設(shè)計(jì)

X 射線發(fā)生裝置：高壓發(fā)生器一體化，無需高壓電纜維護(hù)；帶自動(dòng)調(diào)整功能，更換燈絲更簡(jiǎn)便。

X 射線檢出器：搭載 300 萬(wàn)像素平板檢出器，配合設(shè)備完成清晰成像。

5 軸載物臺(tái)：XYZ 軸搭載樣品，檢出器可傾斜、旋轉(zhuǎn)，5 軸聯(lián)動(dòng)支持多角度檢查。

X 射線防護(hù)箱：外部射線泄漏低于 1μSv/h；正面門扉照射時(shí)鎖定，門開狀態(tài)下 5 軸載物臺(tái)不移動(dòng)。

碰撞檢測(cè)傳感器：檢出器周圍裝有該傳感器，樣品碰撞時(shí)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)停止工作。

使用條件：僅需 AC200V±10% 1.5kVA（接地電阻 100Ω 以下）供電，無需空氣、冷卻水等輔助供應(yīng)。

5. 應(yīng)用場(chǎng)景與使用優(yōu)勢(shì)

SMX-6010 適用于電子元件、多層實(shí)裝基板等電子制造領(lǐng)域的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察與缺陷檢查。其系統(tǒng)自帶多種安全機(jī)構(gòu)，維護(hù)便捷，使用成本可控，適配電子制造中多樣的檢查需求，為生產(chǎn)與質(zhì)量把控提供穩(wěn)定的技術(shù)支持。

華高儀器在分析設(shè)備方面擁有專業(yè)知識(shí)。歡迎您與我司進(jìn)行聯(lián)系，您的咨詢我們都會(huì)及時(shí)進(jìn)行回復(fù)。

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